SEMICON CHINA 2016 3-17日在上海新國際博覽中心落下帷幕。中山市酷美電子攜公司射頻電源及自動(dòng)匹配器系列產(chǎn)品參展獲得國內外商家的高度關(guān)注與認可。在半導體制造行業(yè)中，在生產(chǎn)芯片、處理器等半導體器件、薄膜太陽(yáng)能電池、液晶等平板顯示器過(guò)程中，都要用到這種電源。是產(chǎn)生等離子體的配套電源,由射頻功率源，阻抗匹配器以及阻抗功率計組成，是八十年末期在我國新興的高科技領(lǐng)域，應用于射頻濺射，PECVD 化學(xué)氣相沉積，反應離子刻蝕等設備中。

在2008年以前射頻電源技術(shù)主要掌握在美、日、德等少數國家的少數廠(chǎng)家中，如美國的AE（Advanced Energy）、MKS（MKS Instruments）、日本的DAIHEN、德國的Huettinger等。

在八十年代末期我國雖然引進(jìn)射頻電源的技術(shù)，也嘗試做過(guò)研發(fā)生產(chǎn)。但是由于關(guān)鍵技術(shù)無(wú)法突破，主要有（固態(tài)晶體管，自動(dòng)匹配）等技術(shù)限制一直無(wú)法生產(chǎn)固態(tài)晶體管的射頻電源及能夠自動(dòng)匹配的射頻阻抗匹配器。這當中尤其以自動(dòng)匹配更為重中之重。故我國的射頻電源研發(fā)及應用一直停步不前。根本無(wú)法與國外的射頻電源廠(chǎng)商競爭。

隨著(zhù)九十年代我國第一臺固態(tài)晶體管誕生，但是射頻自動(dòng)匹配一直使我們無(wú)法突破的屏障。隨著(zhù)時(shí)間的轉移2008年中山市格美電子研發(fā)出我國第一臺國產(chǎn)射頻自動(dòng)匹配器。打破了外國廠(chǎng)商一直壟斷的國內市場(chǎng)。隨著(zhù)這幾年我們不斷的完善與改進(jìn)。K-Mate         射頻電源及自動(dòng)匹配器越來(lái)越多的出現在國內的實(shí)驗及產(chǎn)線(xiàn)設備上。并獲得國內許多知名企業(yè)及行業(yè)資深人士的認可。同時(shí)逐步銷(xiāo)往一些東南亞國家。

2016我們整裝待發(fā)，從國內走向國際市場(chǎng)