首先在使用K-mate產(chǎn)品時(shí)，要明確應用設備的負載是容抗負載還是感抗負載，根據不同類(lèi)型的負載選擇相適應的射頻匹配器。（在采購或調試時(shí)告知我司銷(xiāo)售人員或技術(shù)人員）。容抗負載多指的是真空腔體內電極放電，如磁控濺射，等離子清洗，RIE反應刻蝕，平板PECVD.感抗負載多指是通過(guò)線(xiàn)圈耦合等離子體放電，如管式PECVD，ICP刻蝕，射頻感應加熱等。在選用我司500W功率的射頻電源時(shí)，容抗負載建議選擇VENA-500（0010+00077），感抗負載時(shí)應選擇VENA-500(0010+00077)并告知負載線(xiàn)圈的規格如銅管的大小，線(xiàn)圈的內徑，圈數，及間距。以便我們在出廠(chǎng)時(shí)做好調試。在選用1000W匹配器時(shí)也需如此。